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9N系列纯化器:郑州云湛科技的9N高纯纯化器工艺介绍:1、气体通过高温催化氧化工序将气体的N2和CH4等杂质还原成H20和CO2 2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。 3、气体通过多柱吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2等杂质。
芯片半导体、LED、激光、光纤行业、集成电路产业
工业介绍
1、气体通过高温催化氧化工序将气体的N2和CH4等杂质还原成H20和CO2
2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。
3、气体通过多柱吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2等杂质。
郑州云湛科技的9N高纯纯化器工艺介绍:1、气体通过高温催化氧化工序将气体的N2和CH4等杂质还原成H20和CO2 2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。 3、气体通过多柱吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2等杂质。
纯化指标气体类别
可纯化气体去除杂质纯
| 气体类别 | 可纯化气体 | 去除杂质 | 纯化指标 |
| D-惰性气体 | N2、Ar、He、Ne、Kr | H2O、O2、CO、CO2、H2、CH4、NMHC | <1ppb |
| Y-氧气 | O2XCDA | H2O、CO2、NMHC | |
| Q-氢气 | H2 | H2O、O2、CO、CO2、CH4、NMHC |
*表中仅列出典型的和常见的气体,更多可纯化气体请与郑州云湛科技联系
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