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更新时间:2025-11-21
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注意选择正确的量程
A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。
B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。
C、 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。
3、注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。 质量流量控制器(MFC )除最大工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即 MFC 进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
4、注意选择合适的精度指标
准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求最高,应考虑自己的实际需要。
5、注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对MFC 的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
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